一、iEDX-150T(S)薄金鍍層測厚儀主要參數(shù):

1、多鍍層分析，可分析鍍層1～5層(不含基材）；

2、測試示值：0.001 μm,最薄可測厚度為0.0125μm；

3、元素分析范圍從鋁(Al)到鈾(U)；

4、測量時間：10~30秒可選；

5、SDD探測器，能量分辨率為125eV；

6、探測器Be窗0.5mil（12.7μm）；

7、微焦X射線管50kV/1mA，鉬，銠靶（高配微焦鉬靶）；

8、標配6個準直器及多個濾光片，且自動切換；

9、XYZ三維全自動移動平臺，荷載最*大為5公斤；

10、高清CCD攝像頭（200萬像素），準確監(jiān)控位置；

11、多變量非線性去卷積曲線擬合；

12、高性能FP/MLSQ分析；

13、儀器尺寸：618×525×490mm；

14、樣品臺尺寸：230×220mm；

15、樣品臺移動范圍：前后左右各80mm、高度90mm；

16、樣品倉尺寸：395×400×102mm。

二、圖譜界面:

1、軟件支持無標樣分析；

2、寬大分析平臺和樣品腔；

3、集成了鍍層分析界面和合金成份分析界面；

4、采用多種光譜擬合分析處理技術；

5、鍍層測厚分析精度可達到0.001μm。

三、分析報告結果:

1、直接打印分析報告；
2、報告可轉換為PDF，EXCEL格式。

四、iEDX-150T(S)薄金鍍層測厚儀樣品分析圖譜：