一、SS-150臺(tái)式掃描電鏡主要參數(shù):

1、分辨率：5nm (30kV, SE Image)

2、放大倍率：7~150,000 X

3、加速電壓：1kV to 30kV (1kV/5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -6 step)

二、圖像檢測：

1、二次電子圖像-(SE)-Secondary Electron Image

2、 Detector SE 二次電子探測器

3、觀察模式：

 3.1.Standard Mode 標(biāo)準(zhǔn)模式

 3.2.Charge-up reduction mode 遞減模式

三、電子槍系統(tǒng)：

1、燈絲類型：預(yù)對(duì)中鎢燈絲

2、偏壓系統(tǒng)：自動(dòng)偏壓方式

3、電子槍校正：手動(dòng)方式

四、透鏡構(gòu)成：

1、聚光鏡：2段式磁線圈透鏡

2、物鏡：1段式磁線圈物鏡

3、探測器類型：SE Detector/ BSE Detector

4、載物臺(tái)系統(tǒng)：手動(dòng)

5、載物臺(tái)移動(dòng)：3軸手動(dòng)

6、圖像偏移：Image shift X, Y Image Shift (±150um)

7、樣品尺寸：高度30mm時(shí)直徑80mm

8、圖像掃描：

 快速掃描: 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

 低速掃描 : 640x480 (Scan time: 3 sec.)

 圖片模式1: 1280x960 (Scan time: 30sec.)

 圖片模式2: 2560x1920 (Scan time: 60sec.)

 圖片模式3: 5120x3840 (Scan time: 120sec.)

9、軟件自動(dòng)功能：自動(dòng)啟動(dòng)，自動(dòng)聚焦，自動(dòng)亮度對(duì)比度調(diào)節(jié)

10、圖像存儲(chǔ)格式：BMP, JPEG, PNG,TIFF

11、數(shù)據(jù)顯示：放大倍率，探測器類型，電壓，真空模式，Logo(Text)，Date and time，Text marker，比例尺等

12、真空系統(tǒng)：高真空模式（旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵）Rotary Pump/100Liters/min

（渦輪式分子泵）Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec

 抽真空時(shí)間：3分鐘以內(nèi)

13、軟件：

圖像文件打開，編輯，存儲(chǔ)功能長度，面積，角度等測量功能,設(shè)置數(shù)初始化，圖像拍攝模式轉(zhuǎn)換，Archives, Setting(EDS)模式等。

14、SS-150臺(tái)式掃描電鏡是一款適用型的掃描電鏡，以其非常高的性價(jià)比獲得了客戶的好評(píng)。